在多晶硅生产过程中，还原炉尾气过滤器如何选型始终是一个难点，如过滤器及过滤面积选择不当，将会导致过滤器堵死或硅粉过滤不彻底，影响下游工艺设备，从而严重影响系统的稳定运行。由于多晶硅行业尾气粉尘具有颗粒细小、温度高、硬度高、有耐磨性等特点，目前使用效果较好的是本体采用316L材料、滤芯采用316L金属烧结毡制成的过滤器。此过滤器可设置成手动反吹或自动反吹。
♦ 硅粉输送工序尾气过滤。
♦ 三氯氢硅合成工序合成气过滤。
♦ 三氯氢硅还原工序尾气过滤。
♦ 四氯化硅氢化工序尾气过滤。
♦ 焚烧尾气过滤。
♦ 其它。
| 1、气体精密过滤器 | 2、天燃气精密过滤器 |
| 3、液体精密过滤器 | 4、袋式过滤器 |
| 5、多晶硅过滤器 | 6、保安过滤器 |
| 7、精密过滤器滤芯 |
过滤器：硅粉过滤器、硅尘过滤器等
工艺介质：硅粉输送（加料）系统产生的含尘废气
| 工艺参数 | 气 相：氢气、氮气或其它99.9%；固相：冶金硅粉0.1%（重量） 颗粒粒度：40~100目 |
| 设计性能 | 过滤效果：固体去除率99.9% 清灰设计：在线分区脉冲反吹（低压系统） 离线分区脉冲反吹（高压系统） |
过滤器：合成反应器出口旋风分离器和硅粉过滤器
工艺介质：三氯氢硅合成反应器出口混合气体
| 工艺参数 | 气 相：（wt%）H2（1.6%），HCl（3.3%），SiH2Cl2（3.5%） SiCl4（13.6%），SiHCl3（77.8%） 固 相：Si 粉（0.3%,max:1%） 工作温度：～200℃；工作压力：0.6Mpa 过滤精度：10µm |
| 设计性能 | 过滤效果：固体去除率99.9% 滤 芯：316L，10µm 清灰设计：有备用，离线反吹或在线分区反吹；反吹气：氢气 |
过滤器：还原炉尾气过滤器
工艺介质：三氯氢硅还原工序尾气
| 工艺参数 | 气 相：(mol%）H2（78.96%），HCl（0.64%）， SiH2Cl2（1.82%）,SiCl4（7.16%），SiHCl3（11.4%） 固 相：无定型 Si 粉 工作温度：～200 ℃；工作压力：～0.6Mpa 过滤精度：1µm |
| 设计性能 | 过滤效果：固体去除率99.9% 滤 芯：316L，1µm 清灰设计：有备用，离线反吹或在线分区反吹；反吹气：氢气 |
| 壳体材质 | 20#、低温钢、不锈钢、双相钢、钛合金、内衬PO、内衬四氟、2205等各种特殊材质 |
| 过滤器压力 | 0.6Mpa、1.0Mpa、1.6Mpa、2.0Mpa、3.2Mpa、4.0Mpa、6.4Mpa，最高至25.0Mpa |
| 温度范围 | -280℃~+2000℃ |
| 接管口径 | DN15~DN1500mm |
| 连接方式 | 法兰连接、快装连接、螺纹连接、对焊连接 |
| 滤芯材质 | 不锈钢、聚丙烯、PP棉、聚四氟乙燃、钛合金、陶瓷等各种滤芯 |
| 过滤精度 | 0.001um~500um |
| 滤芯长度 | 250mm、500mm、750mm、1000mm或客户指定长度 |
| 进出口方位 | 上进下出、上进侧出、左进右出、下进上出等各种型式 |
| 过滤器可选配件 | 压差计、变送器、安全阀、电动（气动）排污阀、放空阀、液位计 |
| 垫片 | 聚四氟乙烯垫片、橡胶垫片、金属内外环垫片、金属石墨垫片或客户指定 |
| 过滤器外面处理 | 采用内外抛光处理，达到卫生级标准，也可喷砂处理。 |
| 江苏庆工建议客户最好来电咨询，我们的工程师会免费根据贵公司的工况及参数选择最合理的过滤器 |
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订货时请标注如下参数：型号、口径、材质、压力、法兰标准、过滤精度、数量，如客户对产品有特殊要求，请在询价时一并提出。
